多晶硅企業在還原三氯氫硅過程中會產生大量氯硅烷尾氣，改良西門子法每噸多晶硅會有20噸左右的氯硅烷尾氣排放。尾氣主要以四氯化硅為主，還有少量三氯氫硅、二氯二氫硅等多種硅烷形式，分離和精餾比較困難。可以採用加氫轉化三氯氫硅的方式，但投資大、處理量和轉化率低、能耗和成本相當高，企業無法承受。目前國內的處理方式主要有兩種：一是送給收貨人，每噸貼補800至1700元，至於收貨人把物料如何處理，大家都心知肚明；再是通入水中水解后用燒碱或生石灰中和排放，受到環保部門限制，運行成本也比較高。目前，技術路線比較成熟、能夠規模處理且又比較經濟的辦法就是通過低溫水解或高溫水解氯硅烷氣體，產生20%以上的鹽酸和二氧化硅，鹽酸出售或生產氯化鈣之類的產品，也可以低溫解析鹽酸回收氯化氫到系統中合成三氯氫硅再利用。副產二氧化硅通過再加工處理，可以生產水合二氧化硅（白炭黑）、偏硅、層硅、硅酸鋁等無機硅產品。我公司在處理氯硅烷廢料方面具有豐富的工程和技術經驗，可以根據不同企業實際情況設計不同的處理和深加工方案。可以在不排放任何污染物的情況下，通過處理和再加工，產出市場暢銷的衍生產品，既解決排放污染問題，又變廢為寶增加收益，平衡處理三廢費用。
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